課程(名稱.編號)簡索

領導藝術.綜合管理        人力資源.企業培訓        職務能力培訓系統班        銷售實戰.市場行銷        職場技能.個人成長        Office白領辦公達人        財經金融.投資理財        語言學習.出國留學        中國大陸證照培訓        資格考試.考証培訓        文化.生活.興趣.保健        生產管理.採購物流        移動開發        前端開發        後端開發        數據庫.服務器        網頁平面設計        雲計算.大數據        網絡營銷推廣        自然學科        工程技術學科

經濟管理學科

醫.藥.農.林學科

法律 學科

計算機工程學科

哲學.歷史學科

文學.藝術學科

教育社會學科

外語 學科

醫藥農林        哲學歷史        文學藝術        工程技術        基礎科學        經管法學

     隨著現代科技的飛速發展，電子元器件、平板顯示、集成電路、信息存儲、微機電系統、物聯網探測與感知、綠色能源等領域不斷創新，廣泛而深入地影響了每個人的生活。而這些都離不開薄膜技術的發展。掌握薄膜制備的技術方法，理解薄膜生長的物理機制，已經成為高新技術人才不可或缺的知識組成部分。

課程概述

     薄膜材料憑借其微小的體積和優異的性能，在建築、水利、環境、機械、航空航天、信息、能源、生物醫學、電子等國民經濟主要行業和領域中發揮著越來越重要的作用。本課程面向所有理工科高年級本科生以及研究生，課程內容包括真空技術簡介、物理氣相沉積、化學氣相沉積、化學溶液法鍍膜、薄膜的生長以及薄膜結構、薄膜性能測試技術和表徵方法。課程的開設旨在引導學生瞭解電子薄膜技術的發展概況，理解真空技術的相關知識，掌握薄膜沉積的技術體系以及薄膜制備的多種技術方法，能夠在薄膜沉積中綜合考慮工藝參數對薄膜附著力、厚度均勻性、結構以及缺陷的影響，並初步掌握薄膜結構表徵的方法。為進一步開展薄膜材料的制備和應用研究奠定基礎。


課程大綱


01 緒論

理解薄膜的定義，主要制備方法及應用。

1.1 薄膜的定義
1.2 薄膜的制備方法及應用

第01講 1.1 薄膜的定義 → 00:05:53
第02講 1.2 薄膜的制備方法及應用 → 00:10:43


02 真空

瞭解真空定義及稀薄氣體的性質，掌握真空獲得和測量的方法及設備。

2.1 真空
2.2 稀薄氣體的基本性質
2.3 真空的獲得
2.4 真空的測量

第03講 2.1 真空 → 00:08:27
第04講 2.2 稀薄氣體的基本性質 → 00:11:31
第05講 2.3 真空的獲得 → 00:14:23
第06講 2.4 真空的測量 → 00:12:03


03 蒸發

理解蒸發鍍膜的概念，掌握蒸發膜厚分佈的主要特徵，瞭解主要的蒸發鍍膜方法。

3.1 蒸發的基本概念
3.2 蒸發的膜厚分佈
3.3 蒸發方法簡介

第07講 3.1 蒸發的基本概念 → 00:11:50
第08講 3.2 蒸發的膜厚分佈 → 00:11:54
第09講 3.3 蒸發方法簡介 → 00:12:58


04 濺射

理解濺射的定義及主要過程。掌握等離子體的特點，濺射過程及主要特性。瞭解磁控濺射和射頻濺射的原理。

4.1 濺射與等離子體
4.2 濺射特性
4.3 濺射過程
4.4 射頻濺射與磁控濺射

第10講 4.1 濺射與等離子體 → 00:14:13
第11講 4.2 濺射特性 → 00:16:24
第12講 4.3 濺射過程 → 00:16:33
第13講 4.4 射頻濺射與磁控濺射 → 00:15:14


05 化學氣相沉積

瞭解CVD的定義及主要反應，理解CVD的主要過程及生長限制機制，瞭解CVD的主要類型及其特點。

5.1 CVD的化學反應類型
5.2 CVD的反應法則
5.3 CVD裝置及類型

第14講 5.1 CVD的化學反應類型 → 00:09:47
第15講 5.2 CVD的反應法則 → 00:10:08
第16講 5.3 CVD裝置及類型 → 00:13:42


06 溶液鍍膜法

理解溶膠凝膠法和MOD法的主要過程及特點，瞭解LB膜的特點及應用。掌握陽極氧化、電鍍、化學鍍等方法的主要特點和不同。

6.1 溶膠凝膠法和LB膜
6.2 陽極氧化、電鍍、化學鍍

第17講 6.1 溶膠凝膠法和LB膜 → 00:11:55
第18講 6.2 陽極氧化、電鍍、化學鍍 → 00:07:05


07 薄膜的生長及結構

掌握薄膜的主要生長方式和過程，理解薄膜的自發成核與非自發成核的理論，瞭解連續薄膜形成的主要機制以及薄膜的主要結構參數和缺陷類型。

7.1 薄膜的生長過程
7.2 薄膜成核理論
7.3 連續薄膜的形成、薄膜結構及缺陷

第19講 7.1 薄膜的生長過程 → 00:09:57
第20講 7.2 薄膜成核理論 → 00:14:52
第21講 7.3 連續薄膜的形成、薄膜結構及缺陷 → 00:09:15


08 薄膜的表徵方法

瞭解薄膜厚度、形貌及結構的主要測試方法。

8.1 薄膜厚度測試
8.2 薄膜形貌及結構表徵

第22講 8.1 薄膜厚度測試 → 00:08:00
第23講 8.2 薄膜形貌及結構表徵 → 00:06:47