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【企管綜合課程】 > 工程技術學科 > 電氣|電子|通信|自動 |
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| 課程名稱: 薄膜物理與技術 |
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| 課程編號： |
MS_5123 |
系列: |
企管綜合課程(國家級) |
授課單位： |
電子科技大學 |
集數: |
全 23 集 課程時長: |
| 授課語言： |
中文 |
光碟版: |
1 片教學光碟 格式: mp4檔 |
| 其他說明： |
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| 簡 介： |
薄膜材料憑借其微小的體積和優異的性能，在建築、水利、環境、機械、航空航天、信息、能源、生物醫學、電子等國民經濟主要行業和領域中發揮著越來越重要的作用。本課程面向.......... |
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| 網路版： |
NT$ 495 元
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購 買： |
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| 光碟版： |
594 元(優惠中)
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光碟版 配送服務僅供(台灣地區) |
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| 訂購說明： |
◎優惠期間中!各版本為均一價,請於結帳時註明
◎網路版→檔案複查中,暫不提供
◎光碟版→最低出貨量為二套(免運費)。
◎下載版→檔案複查中,暫不提供
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隨著現代科技的飛速發展，電子元器件、平板顯示、集成電路、信息存儲、微機電系統、物聯網探測與感知、綠色能源等領域不斷創新，廣泛而深入地影響了每個人的生活。而這些都離不開薄膜技術的發展。掌握薄膜制備的技術方法，理解薄膜生長的物理機制，已經成為高新技術人才不可或缺的知識組成部分。 |
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—— 課程團隊 |
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課程概述
薄膜材料憑借其微小的體積和優異的性能，在建築、水利、環境、機械、航空航天、信息、能源、生物醫學、電子等國民經濟主要行業和領域中發揮著越來越重要的作用。本課程面向所有理工科高年級本科生以及研究生，課程內容包括真空技術簡介、物理氣相沉積、化學氣相沉積、化學溶液法鍍膜、薄膜的生長以及薄膜結構、薄膜性能測試技術和表徵方法。課程的開設旨在引導學生瞭解電子薄膜技術的發展概況，理解真空技術的相關知識，掌握薄膜沉積的技術體系以及薄膜制備的多種技術方法，能夠在薄膜沉積中綜合考慮工藝參數對薄膜附著力、厚度均勻性、結構以及缺陷的影響，並初步掌握薄膜結構表徵的方法。為進一步開展薄膜材料的制備和應用研究奠定基礎。
課程大綱
01 緒論
理解薄膜的定義，主要制備方法及應用。
1.1 薄膜的定義
1.2 薄膜的制備方法及應用
第01講 1.1 薄膜的定義 → 00:05:53
第02講 1.2 薄膜的制備方法及應用 → 00:10:43
02 真空
瞭解真空定義及稀薄氣體的性質，掌握真空獲得和測量的方法及設備。
2.1 真空
2.2 稀薄氣體的基本性質
2.3 真空的獲得
2.4 真空的測量
第03講 2.1 真空 → 00:08:27
第04講 2.2 稀薄氣體的基本性質 → 00:11:31
第05講 2.3 真空的獲得 → 00:14:23
第06講 2.4 真空的測量 → 00:12:03
03 蒸發
理解蒸發鍍膜的概念，掌握蒸發膜厚分佈的主要特徵，瞭解主要的蒸發鍍膜方法。
3.1 蒸發的基本概念
3.2 蒸發的膜厚分佈
3.3 蒸發方法簡介
第07講 3.1 蒸發的基本概念 → 00:11:50
第08講 3.2 蒸發的膜厚分佈 → 00:11:54
第09講 3.3 蒸發方法簡介 → 00:12:58
04 濺射
理解濺射的定義及主要過程。掌握等離子體的特點，濺射過程及主要特性。瞭解磁控濺射和射頻濺射的原理。
4.1 濺射與等離子體
4.2 濺射特性
4.3 濺射過程
4.4 射頻濺射與磁控濺射
第10講 4.1 濺射與等離子體 → 00:14:13
第11講 4.2 濺射特性 → 00:16:24
第12講 4.3 濺射過程 → 00:16:33
第13講 4.4 射頻濺射與磁控濺射 → 00:15:14
05 化學氣相沉積
瞭解CVD的定義及主要反應，理解CVD的主要過程及生長限制機制，瞭解CVD的主要類型及其特點。
5.1 CVD的化學反應類型
5.2 CVD的反應法則
5.3 CVD裝置及類型
第14講 5.1 CVD的化學反應類型 → 00:09:47
第15講 5.2 CVD的反應法則 → 00:10:08
第16講 5.3 CVD裝置及類型 → 00:13:42
06 溶液鍍膜法
理解溶膠凝膠法和MOD法的主要過程及特點，瞭解LB膜的特點及應用。掌握陽極氧化、電鍍、化學鍍等方法的主要特點和不同。
6.1 溶膠凝膠法和LB膜
6.2 陽極氧化、電鍍、化學鍍
第17講 6.1 溶膠凝膠法和LB膜 → 00:11:55
第18講 6.2 陽極氧化、電鍍、化學鍍 → 00:07:05
07 薄膜的生長及結構
掌握薄膜的主要生長方式和過程，理解薄膜的自發成核與非自發成核的理論，瞭解連續薄膜形成的主要機制以及薄膜的主要結構參數和缺陷類型。
7.1 薄膜的生長過程
7.2 薄膜成核理論
7.3 連續薄膜的形成、薄膜結構及缺陷
第19講 7.1 薄膜的生長過程 → 00:09:57
第20講 7.2 薄膜成核理論 → 00:14:52
第21講 7.3 連續薄膜的形成、薄膜結構及缺陷 → 00:09:15
08 薄膜的表徵方法
瞭解薄膜厚度、形貌及結構的主要測試方法。
8.1 薄膜厚度測試
8.2 薄膜形貌及結構表徵
第22講 8.1 薄膜厚度測試 → 00:08:00
第23講 8.2 薄膜形貌及結構表徵 → 00:06:47
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