原理:在高溫及電場的作用下逸出自由電子,進一步通過電場加速和磁透鏡聚焦,使電子束獲得高能量和小直徑,最終形成高能電子束。由電子槍發射的自由電子經電場加速、兩級磁透鏡聚焦後穿透樣品,形成透射電子束,經三級磁透鏡放大後最終在螢光屏上形成電子圖像。
主要結構組成:電子照明系統:由電子槍和聚光鏡共同組成,其作用是提供高能量、小直徑的透射電子束用以後續成像。
電子光學系統:該部分由試樣室、物鏡、中間鏡和投影鏡組成。高性能透射電鏡一般設有兩個中間鏡和兩個投影鏡。物鏡、中間鏡、投影鏡均屬於磁透鏡,通過三者共同放大作用,可獲得很高的總放大倍率。
觀察記錄系統:由電子成像系統形成的電子圖像通過螢光屏或照相系統進行觀察記錄。通過觀察窗口可直接觀察螢光屏上的圖像。
真空系統:避免空氣分子與高速運動電子發生碰撞;
避免電子槍發生高壓放電現象;高真空有利於延長電子槍燈絲使用壽命;避免樣品表面被污染。
電源系統:電子槍所需的高壓電源系統;磁透鏡勵磁電流所需的電源;真空系統工作所需的電源;安全保護系統所需的電源;其他各類操作電源。